美國AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修
美國AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修
北京天浦正達AE直流電源維修中心可維修故障范圍包括:
無輸出,燒保險,開不了機,面板無顯示修,啟動無輸出,輸出電壓不正常,帶不了負載,模塊壞等
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AE MDX系列直流電源操作
前面板：
AE MDX直流電源操作及接線說明
1）指示燈
Output Power
a)Stop的指示燈亮?xí)r，表示電源已關(guān)閉
b)Start的指示燈亮?xí)r，表示電源已打開Regulation
a)Power的指示燈亮?xí)r，表示電源處于功率模式，設(shè)定值是功率值
b)Current的指示燈亮?xí)r，表示電源處于電流模式，設(shè)定值是電流值
c)Power和Current的指示燈同時亮?xí)r，表示電源處于電壓模式，設(shè)定值是電壓值
d)Power和Current的指示燈同時閃時，表示電源處于未知模式Status
a)Arc指示燈亮?xí)r，表示腔室內(nèi)阻抗過低，輸出電流過電源規(guī)定的大值
b)Setpoint指示燈亮?xí)r，表示電源的輸出值已經(jīng)達到設(shè)定值
c)Remote指示燈亮?xí)r，表示電源的開關(guān)或設(shè)置值處于遠控模式
d)Output指示燈亮?xí)r，表示電源已經(jīng)打開
e)Plama指示燈亮?xí)r，表示輸出電流大于10mA
f)Interlock指示燈亮?xí)r，表示互鎖已經(jīng)滿足，若不滿足，則該燈閃爍
Level鍵：用于設(shè)置電源參數(shù)
Display鍵：按改鍵可切換顯示功率、電壓或者電流
撥碼開關(guān)
RAMP，0.1 Sec：開關(guān)置下時，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時間為0.1秒
RAMP，1.0 Sec：開關(guān)置下時，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時間為1.0秒
RAMP，10 Sec：開關(guān)置下時，表示電源輸出從0到設(shè)定值的時間為10秒C HOLD：開關(guān)置下時，可縮短一次以后電源輸出值達到設(shè)定值的時間ON/OFF：開關(guān)置上時，表示通過User Port來打開或者關(guān)閉電源，置下時，表示通過前面板打開或者關(guān)閉電源
AE電源維修常見型號系列：
AE電源維修，美國MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE電源維修，AE電鍍電源維修，AE射頻電源維修，電鍍高頻電源維修，刻蝕射頻電源維修，RE射頻電源維修，PECVD射頻電源維修，大功率工業(yè)電源維修，UPS電源維修等各行業(yè)工業(yè)用電源維修
射頻電源設(shè)備維修：刻蝕，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統(tǒng)
AE CESAR 1330 射頻電源維修 AE PEII-10K鍍膜電源維修 AE射頻電源RF-5S維修 AE射頻電源RFG3000維修
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