AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修
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美國AE直流電源維修MDX-5K射頻電源維修
北京天浦正達AE直流電源維修中心可維修故障范圍包括:
無輸出,燒保險,開不了機,面板無顯示修,啟動無輸出,輸出電壓不正常,帶不了負載,模塊壞等
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AE MDX系列直流電源操作
前面板：
AE MDX直流電源操作及接線說明
1）指示燈
Output Power
a)Stop的指示燈亮時，表示電源已關閉
b)Start的指示燈亮時，表示電源已打開Regulation
a)Power的指示燈亮時，表示電源處于功率模式，設定值是功率值
b)Current的指示燈亮時，表示電源處于電流模式，設定值是電流值
c)Power和Current的指示燈同時亮時，表示電源處于電壓模式，設定值是電壓值
d)Power和Current的指示燈同時閃時，表示電源處于未知模式Status
a)Arc指示燈亮時，表示腔室內阻抗過低，輸出電流過電源規定的大值
b)Setpoint指示燈亮時，表示電源的輸出值已經達到設定值
c)Remote指示燈亮時，表示電源的開關或設置值處于遠控模式
d)Output指示燈亮時，表示電源已經打開
e)Plama指示燈亮時，表示輸出電流大于10mA
f)Interlock指示燈亮時，表示互鎖已經滿足，若不滿足，則該燈閃爍
Level鍵：用于設置電源參數
Display鍵：按改鍵可切換顯示功率、電壓或者電流
撥碼開關
RAMP，0.1 Sec：開關置下時，表示電源輸出從0到設定值的時間為0.1秒
RAMP，1.0 Sec：開關置下時，表示電源輸出從0到設定值的時間為1.0秒
RAMP，10 Sec：開關置下時，表示電源輸出從0到設定值的時間為10秒C HOLD：開關置下時，可縮短一次以后電源輸出值達到設定值的時間ON/OFF：開關置上時，表示通過User Port來打開或者關閉電源，置下時，表示通過前面板打開或者關閉電源
AE電源維修常見型號系列：
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射頻電源設備維修：刻蝕，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統
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