射頻電源的原理與維修
1. 什么是射頻電源？
全固態射頻電源的功放采用RF MOFET為元器件，主要由功放模塊，功率檢測模塊，控制模塊和AC/DC電源模塊；功放模塊的功能是通過多級射頻功率放大將晶振產生的特定頻率的小信號放大到所需要的射頻功率。功率檢測模塊的功能是檢測出功放的輸出功率，性能的好壞直接影響到輸出功率的精確度和穩定度。控制模塊的主要功能是控制射頻電源的輸出功率為設定值，處理工作中的異常比如VSWR保護，過溫保護等等。AC/DC模塊將輸入的220V交流電轉換成功放，控制模塊功率檢測模塊所需的直流電壓。
一、主 要 技 術 性 能
射頻源：
1. 板極電壓：200～1500V連續可調。
2. 板極電流：≦0.36A
3. 板極直流消耗功率：≦0.58KW。
4. 輸出功率：6～500W連續可調。
5. 頻率：13.56MHz
匹配箱：
1. 阻抗匹配范圍：（2.7～45）Ω～j(0～70) Ω
2. 具有手動調節網絡參數達到匹配之功能。
3. 網絡參數由耦合和調諧旋鈕刻度讀出。
二、使 用 方 法
1. 逆時針調節“Ua調節”電位器到低位置（因沒開電源，沒有指示，以調不動為止），功率計開關置于2 kW檔。
2. 插上電源插頭，打開電源開關預熱5分鐘左右，紅色燈應該亮。
3. 按下“Ua—ON”開關，綠指示燈應該亮，緩緩調節“Ua調節”到500V左右，Ia、功率計應有指示，然后反復調節耦合和調諧旋鈕，直至反映室起輝。起輝后自偏壓應有指示。
4. 反復調節耦合和調諧旋鈕使反射功率減小。Ia約為100mA（在Ua為500V時）。切忌反射功率太大，否則易損壞機件。
5. 調節Ua至所需功率，注意隨時調節匹配網絡使反射功率接近0。
6. 自偏壓的大小和反應室及工藝條件有關，僅供參考。
7. 重復工作時，只要負載不變，每次只要關斷和接通Ua即可。
8. 工作完畢后，Ua調到低，關斷電源開關。
三、安 裝 與 調 試
1. 電子管的安裝
打開機箱上蓋，將電子管垂直向下插入管座，插到底，然后順時針旋轉大約60度（有限位），套上接線卡子，將螺釘旋緊一些，再蓋上機箱的上蓋。
注意用手拿電子管時，不能碰
陶瓷部位，以免手上汗跡沾在陶瓷
部位降低管子的耐壓。
2. 接線
如圖，注意射頻電纜接頭要旋
緊，電纜彎曲盡量自然一些。
3. 電源的檢查
在未正式與設備連調之前，或在工作過程中有異常，比如不起輝、
不穩定、反向功率大等，可單獨檢查電源。
方法：用假負載替代真實負載，接通電源→開啟開關→當紅色小燈亮后→“Ua調節”旋鈕逆時針調到頭→按下“Ua—ON”開關→順時針調Ua到200伏（此時各表頭均有指示）→調匹配器（反復調）使反射功率小，如果這時Ua、Ia、功率都正常，則可認為電源工作正常。Ua×Ia×80%≈入射功率。
4. 起輝
在確認射頻源正常后，即可接上真實負載進行調試。
起輝時，可將Ua調到400~500V，如果未起輝，反射功率會很大，調節耦合和調諧旋鈕使之起輝，暫且先不管反射功率有多大。如果不起輝，可降低真空度。磁控濺射真空度可降到數Pa。真空度低些容易起輝。如還不起輝，可采取短時間加大功率的方法。比如Ua加到700V，如果不起輝，馬上把Ua降一點，再調一下匹配器電容，再略加高Ua，如此重復進行，直到起輝為止。即如果再不起輝，應檢查反應室及接線部分是否有問題。
起輝后，調匹配器之電容使反射功率減小直到接近零。如果起輝時真空度較低，起輝后可逐漸提高真空度.
5. 加功率
在起輝正常后，可提高功率，這里要注意的是，在初次起輝時，可能由于反應或工作氣體不干凈，設計上欠合理等因素而使反應室內打火，這種情況功率不能提高。在正常工作時，通常靶上所加功率為5~10W/cm2,極限功率約為20 W/cm2，所加功率不要超過極限值，否則會燒毀靶。
6. 幾個參考數據
射頻功率源駐波比≤1.5
磁控濺射功率密度5～10 W/cm2
磁控濺射壓強0.5～數Pa
自偏壓:100V～500V（自偏壓與真空度、功率密度、磁控強度、靶材等有關）
7. 幾種故障的判斷
在正常工作時，如果發生跳閘現象，則直流供電部分出現故障。
Ua突然變大時，電子管損壞的可能性大。
有Ua無Ia時，驅動板有故障或高頻插頭接觸不良。
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