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高壓發生器的原理:控制電路是采用電壓和電流兩路負反饋回路對高壓發生器進行控制，同時通過兩個可調電阻實現微調，在X射線質譜儀高壓發生器控制電路內部，采用單片機對X射線質譜儀高壓電源智能控制系統運行狀態進行實時監控，同時通過反饋值直接系數校準的方式，忽略內部元件的偏差，實現準確設置。

1)故障現象:在正常測樣過程中，突然儀器的高壓出現異常，儀器顯示板上的數字為 20kV/30MA→0KV/0MA.軟件上出現聯機失敗。

采取的措施:現場測試高壓，當高壓超過 35kV/50MA 時，軟件就報 FLASH打開儀器后蓋，檢查高壓發生器和高壓發生器電纜接頭，發現高壓電纜頭燒黑，先用酒精清理后檢查高壓電纜頭正常，繼續檢查發現高壓發生器桶內的絕緣筒被高壓打裂，有兩條裂痕。導致絕緣筒被打裂。判斷高壓發生器已壞，換一個新的高壓發生器后開機測試正常。鎖定高壓發生器故障進行維修。

2)故障現象：X光管頻繁自動關掉

處理：發現X光管發生器溫度較高，清理或更換X光管發生器排風扇

3)故障現象：不自檢，不聯機、不復位；多次重新啟動還是一樣

處理：卸真空后，重新啟動計算機，熒光自檢、聯機、復位正常，但在抽真空時，不能抽，出現大于25Ka時間太長，經查發現油泵和樣品室之間的過濾網堵塞嚴重，經更換后正常。

該單元提供了一個高度調節、低噪音、超穩定加速器電源，可從0到-30kV以170uA編程，以及參考加速器的浮動燈絲和偏壓電源，用于控制束流。該單元還包括用于驅動探測器的高壓輸出，包括PMT、閃爍體和接地收集器輸出。

編程信號利用差分模擬輸入來小化外部噪聲和偏移電壓的影響。提供一個參考地的發射電流監控裝置和一個燈絲故障信號。

為熱電子發射掃描電子顯微鏡（SEM）提供所需的高電壓。Spellman 的專有封裝技術與其它SEM電源解決方案相比，在尺寸、成本和性能上都有改進。